微流控是一种控制和操控微尺度流体的技术,具有、微量、可集成等特点,微型化的微流控芯片在生物医学研究、药物合成筛选、环境监测与保护、卫生检疫、司法鉴定、生物试剂的检测等众多领域的应用提供了极为广阔的前景。聚二甲基硅氧烷(pdms)因其透气性、易于加工等特点是目前微流控芯片中应用为广泛的材料,随着微流控芯片不断向微型化、化发展,pdms薄膜成为研究热点,但pdms薄膜的制作依然存在着以下的问题:
(1)利用甩膜机制作pdms薄膜是常见的方法,但是在制作工艺上甩膜机的使用对pdms的粘稠度、甩膜机的转速和时间要求很严格,如果参数处理不当,很容易发生甩膜不均匀、表面出现条纹、凝结硬块等问题。制作出的成品直径在10cm左右,很难实现大批量的制作,同时薄膜剥除容易破坏薄膜的完整性。机器使用过程中甩膜机的马达在工作的时候会产生大量的油烟对空气的污染较大。
(2)牺牲层模具制作pdms薄膜的方法们虽然降低薄膜剥离难度,但是操作过程复杂,同时制作是需要各种辅助工具材料复杂,提高了pdms薄膜制作成本。此方法pdms采用旋涂工艺,同样需要类似甩胶机的设备,旋涂方法对pdms溶液粘稠度和机器转速也有一定的参数要求。此方法仅解决了pdms后一步剥离困难的方法,但是并没有简便前期的制作过程。
薄膜制作技术需求高、薄膜剥离困难以及制作成本高等问题,设计了pdms薄膜制作方法,该方法涵盖了薄膜悬浮制作技术以及pdms水面均匀铺展技术。其中薄膜悬浮技术是利用pdms和水的基本物理特性,pdms因密度较大而浮在水面,同时pdms所受重力与水面对pdms的表面张力使得pdms完全铺展成规则的圆形,制作完成的pmds薄膜悬浮在水面可以方便的取下同时不破坏薄膜完整性。pdms水面均匀铺展技术为pdms薄膜的表面光滑性以及平整性提供了保障。因为薄膜制作容器大小可调整,因此本方法为pdms工业化大批量制作提供了解决方案。
薄膜制作技术需求高、薄膜剥离困难以及制作成本高等问题,设计了新型pdms薄膜制作方法。该方法含有两大关键技术:薄膜悬浮技术、pdms水面均匀铺展技术。